NTEGRA Spectra

 

Зондовая нанолаборатория NTEGRA SpectraТип: Зондовая нанолаборатория

Производитель: NT-MDT (http://www.ntmdt.ru/)

Возможности:

Исследование оптических свойств объектов за пределом дифракционных ограничений с помощью сканирующей ближнепольной оптической микроскопии и эффекта локального усиления комбинационного рассеяния (TERS — tip enhanced Raman scattering). Возможность картировать распределение оптических свойств (пропускание, рассеяние, поляризация света и др.), а также осуществлять спектроскопию комбинационного рассеяния с разрешением до 50 нм в плоскости XY.

Система способна работать в режиме регистрации пространственного, трехмерного распределения спектров люминесценции и комбинационного рассеяния света, а также в различных режимах сканирующей зондовой микроскопии, включая наноиндентацию, наноманипуляцию и нанолитографию.

Одновременно с оптическим наблюдением, ИНТЕГРА Спектра позволяет исследовать объект с помощью арсенала методов сканирующей зондовой микроскопии — АСМ, МСМ, СТМ, сканирующей ближнепольной микроскопии, силовой спектроскопии.

Реализуемые методики:
Рамановская микроскопия
В настоящее время используется для исследования нанокристаллов кремния в диэлектрической матрице, а так же пленок аморфного и кристаллического кремния с толщинами ~ 5 нм
Возбуждение лазерами с длинами волн, нм:
473, 632.8, 785
Диапазон и шаг измерения для рамановских сдвигов, см-1
190-800, 0,7
190-8500, 9
Локальность метода по XY, нм: ~ 200
Максимальный диапазон сканирования по XY, мкм: ~ 50
Диапазон сканирования по Z,мкм: 76

Сканирующая ближнепольная микроскопия
Режимы:
Поперечно-Силовая Микроскопия/ Метод отражения, пропускания, люминесцентный
Возбуждении лазерами с длинами волн, нм: 473, 532, 632.8
Максимальный диапазон сканирования:
При сканировании образцом по XY, мкм: ~ 50
При сканировании зондом по XY, мкм: ~ 100
Апертура волокна, нм: < 100

Атомно-силовая микроскопия
Максимальный диапазон сканирования:
При сканировании образцом по XY, мкм: ~ 1, 50, 100
При сканировании зондом по XY, мкм: ~ 100

Результаты исследований представлены в следующий работах: 

Self-assembled nanocrystals discovered in Chelyabinsk meteorite / D.A. Pavlov, A.I. Bobrov, N.V. Malekhonova, A.V. Pirogov, A.V. Nezhdanov // Sci. Rep. 2014. V. 4. № 4280. P. 1-5

Морфология, электронная структура и оптические свойства самоформирующихся кремниевых наноструктур на поверхности высокоориентированного пиролитического графита / А.В.Нежданов [и др.] // Физика и техника полупроводников. 2011. № 45. С. 57-61

The Morphology, Electron Structure, and Optical Properties of Self-Assembled Silicon Nanostructures on the Surface of Highly Oriented Pyrolytic Graphite / A. V. Nezhdanov [et al.] // Semiconductors. 2011. № 45. P. 56-60

The Structure and Properties of the Si Nanostructures on an HOPG Surface / D. O. Filatov [et al.] // Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics. 2011. № 75. P. 12-16

Конфокальная рамановская микроскопия самоформирующихся островков GeSi/Si(001) / А.И.Машин [и др.] // Физика и техника полупроводников. 2010. № 44. С. 1552-1558

Confocal Raman Microscopyof Self of Assembled GeSi/Si(001) Islands / A. I. Mashin [et al.] // Semiconductors. 2010. № 11. P. 1504-1510

Влияние ионного легирования, отжига и гидрогенизации на фотолюминесцию много-слойных нанопериодических структур a-SiOx/ZrO2 и a-Si/ZrO2 / А.В. Ершов [и др.] // Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. 2009. № 4. С. 45-52